VACGEN全金屬微漏閥LVM系列，準確控制從外部氣體源進入到真空系統(tǒng)中的氣體量。ZLVM940R兩個閥軸上均采用可旋轉(zhuǎn)法蘭，連接類型為DN16CF。

產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品優(yōu)勢

- 進口壓力高達10 bar，提供高穩(wěn)定性控制

- 精細的控制機構(gòu)

- 可調(diào)節(jié)刻度分度環(huán)

- 動態(tài)范圍廣

- 可提供多種安裝法蘭

- 方便易用

- 304L不銹鋼閥體和mallory密封墊

- 工作壓力范圍從10^-11mbar到100mbar

- 可烘烤至450°C

- 可提供電機控制

全金屬微漏閥產(chǎn)品選型

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